場發(fā)射掃描電鏡的成像原理和基本構(gòu)造
掃描電子顯微鏡因其分辨率高、景深大、圖像更富立體感、放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬等優(yōu)點而被廣泛應用于半導體、無機非金屬材料及器件等的檢測。隨著我國經(jīng)濟的迅速發(fā)展,高校、科研單位、企業(yè)等大量引進了場發(fā)射掃描電鏡。掃描電鏡樣品必須是具有一定化學、物理穩(wěn)定性的干燥固體、塊狀、片狀、纖維狀及粉末。在真空中及電子束轟擊下不會揮發(fā)或變形,無磁性、放射性和腐蝕性。場發(fā)射掃描電鏡的成像原理:來自掃描發(fā)生器的掃描信號分別送給電子光學系統(tǒng)的掃描線圈和顯像管的掃描線圈,讓電子束于顯像管的陰極射束做同步掃描,...